ASML壟斷晶片設備市場 秘密竟藏於一個德國小鎮？

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外媒報道，荷蘭光刻機生產商ASML在半導體設備的行業地位之所以無法動搖，其秘密竟隱藏於德國一個小鎮之中。

ASML的秘密武器就是德國卡爾蔡司光學公司(CarlZeiss)的鏡，蔡司是ASML光學系統的唯一供應商。目前，市場上所有新款手機及電腦設備中的先進晶片，均由ASML設備生產，而這些設備若缺乏蔡司的光學技術，就無法運作。

報道指出，在德國南部的小鎮Oberkochen，人口僅約8,000名，隱藏着ASML能於未來幾年維持霸權地位的最重要籌碼。

為製造先進晶片，最先進的ASML曝光機使用波長僅13.5納米的極紫外光(EUV)。而早前，內地亦宣稱已成功複製ASML的EUV原型機，惟光學系統仍難以跨越。

蔡司半導體光學元件製造總裁Christoph Hensche指出，ASML的設備能將晶片圖案縮小到甚麼程度，很大程度上取決於光學系統提升解像度的能力，即蔡司的反射鏡就是整個系統的心臟。

在蔡司總部的展示櫃內，EUV反射鏡樣本看似平凡無奇。惟其物理精度比一般浴室鏡子高5萬倍。在實際的ASML設備中，包含多面這類反射鏡，當中最大一面直徑達1.2米，重量達400公斤。Hensche非常形象地描述該種極致精度，我們能透過這面反射鏡，利用激光擊中月球上的一顆高爾夫球。

報道提及，蔡司與ASML合作關係緣於1980年代，當時ASML剛由Philips獨立。1990年代，當ASML決定投資數億歐元在當時前景不明的EUV技術時，蔡司都義無反顧地加入。為鞏固該關係，ASML於2016年斥10億歐元收購蔡司半導體業務24.9%股份。

東網